实验室介绍
“全省先进微纳传感技术重点实验室”以浙江大学绍兴研究院为依托单位，联合绍兴文理学院、绍芯实验室共建，实验室主任为车录锋教授。实验室以深海、深地、深空探测等国家重大战略需求为导向，布局新型传感器敏感材料及机理、极端环境传感器设计与制造、传感芯片异构集成及微系统三大研究方向，重点突破高端传感器在高温、高压、高冲击、高辐射等极端应用环境条件下的一系列核心共性技术，旨在引领国内极端环境下高端传感器的发展。
为充分发挥研究院、省重实验室资源优势，推进学术交流、科研合作、产业合作，促成更多高价值成果产出，现公开发布实验室2026年度开放课题申请指南→
PART.01 申请与评审
1.本实验室开放课题主要支持应用基础研究，成果形式以高水平学术论文为主；亦鼓励通过与本实验室合作，完成可展示的传感器样机等，以相应的成果作为验收成果。论文署名、标注资助见样板。
2.申请者应为国内外高校、科研机构、企业等单位的科研人员，但不能为本实验室研究人员。一般应具有博士学位或中级及以上专业技术职称，且与本实验室成员已有合作研究基础，可与本实验室成员联合申报。项目获得批准后，课题负责人为本实验室客座人员。
3.在本指南所列的研究领域内，申请者可以根据自己的科研方向，自拟研究课题。研究内容应具有理论意义和应用价值，预期可以对本实验室发展有重要贡献。每个课题支持经费不超过5万元，经费需要在浙江大学绍兴研究院使用，原则上不外拨，主要用于和开放课题相关的材料费、测试费、资料费、会议费和差旅费等。
4.开放课题的评审原则：选题符合本实验室研究领域，研究内容和方法有创新。实验室组织同行专家对项目进行评审筛选评定，择优立项。由实验室向申请者下达开放课题批准书，课题到期需完成结题报告并通过验收，且结题报告须在年度的12月25日之前提交。
PART.02 研究领域
1新型传感器材料及敏感机理
为突破极端环境微纳传感器的技术壁垒，重点研究新型传感器材料制备及敏感机理、敏感材料与 IC 工艺的兼容性、基于新型二维/压电等材料的微纳传感、新型微纳传感器等核心技术。
2极端环境传感器设计与制造
针对深地、深空、深海探测等对高端传感器的应用需求，重点研究超低噪声MEMS地震检波传感器、微型原子磁力计、高可靠MEMS 惯性传感器等在极端应用环境条件下的核心共性技术，主要包括传感器设计、制备、低噪声检测及校准、抗高冲击等。
3传感芯片异构集成及微系统
传感芯片三维异构集成方式将对传感器的温度特性、抗冲击特性、可靠性等特性产生重要影响。重点研究微纳传感芯片、接口ASIC 芯片等异构集成及感知微系统技术、集成封装过程中应力产生和控制机理、极端环境条件下传感器加速试验模拟技术、传感器及微系统失效模式和失效机理等。
PART.03 程序和时间点
1.申请者在2026年1月15日前递交开放课题申请书。
2.评审结果于2026年1月25日以电子邮件方式通知申请人。
3.2026年1月底签署资助协议。
4.课题执行期从2026年1月至2026年12月。
PART.04 申请书的递交
申请书的电子文档发至：memscenter@zju.edu.cn，评审通过后请将一式两份的纸质申请书寄往：浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号4幢 浙江大学绍兴研究院微电子研究中心 章贺芬收（电话：18058689068）。