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99.9999%！我国高纯电子级氯气纯化技术获突破

99.9999%！我国高纯电子级氯气纯化技术获突破

电子级氯气堪称搭建芯片微观结构的“刻刀”与“清洗剂”，但这一芯片制造的关键材料我国却长期依赖进口。记者近日从常州大学了解到，该校石油化工学院副教授王俊团队在电子级氯气纯化与全流程安全控制技术领域取得关键性自主突破，依托自研精密精馏纯化工艺，成功制备出纯度达99.9999%(6N级)的高纯电子级氯气，产品核心指标跻身国际先进水平，打破了国外在高端电子特气纯化技术领域的长期垄断。

2026/04/16

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